Universität Ulm

Universität Ulm

Institut für Mikro- und Nanomaterialien
https://www.uni-ulm.de/in/iui-mn/
Profil

Die Aktivitäten des Instituts umfassen die Entwicklung von Hochleistungswerkstoffen (amorphe Metallisierungen, Diffusionsbarrieren) für die Verwendung in der Sensorik, der Mikrosystemtechnik und der Halbleitertechnik. Mit diesen Werkstoffen werden Mikrosystem-Komponenten und Mikrosysteme bei extremen Umgebungs- und Betriebsbedingungen einsetzbar. Die Erforschung hochtemperaturbeständiger Kontakte zwischen Metallen und Halbleitern mit großer Bandlücke leistet einen wesentlicher Beitrag zur Weiterentwicklung der Aufbau- und Verbindungstechnik. Die Hochtemperaturbeständigkeit und die Kompatibilität der entsprechenden Materialien untereinander stellen eine notwendige Voraussetzung dar, um Sensoren und mikroelektronische Bauelemente zu entwickeln, die ihre Funktion bis zu Temperaturen von 1000 °C erfüllen.

Auch die Weiterentwicklung von Modellierungs- und Simulationsmethoden im Bereich der Thermomechanik ist Gegenstand der Forschung. Dadurch lassen sich die Lebensdauern von Mikrosystemen in Abhängigkeit von den verwendeten Materialien bereits in der Entwurfsphase optimieren.

Anschrift

Institut für Mikro- und Nanomaterialien
Albert-Einstein-Allee 47
89081 Ulm

Tel.: +49-731-50-25491
Fax: +49-731-50-25488

Kontakt

Chemie-Cluster Bayern GmbH
Hansastraße 26
80686 München