Universität Erlangen-Nürnberg / Max-Planck-Forschungsgruppe, Institut für Optik, Information und Pho

http://www.ioip.mpg.de/ Organisation: Photochemie, Physikalische Chemie, Theoretische Chemie
Produkte: Lithografische Techniken zur Herstellung definierter optischer Eigenschaften; Ätzen und Aufwachsen von Schichten mittels Plasma-Abscheidung;
Profil

Strukturierung von Oberflächen, Eigenschaftserzeugung von Oberflächen (z.B. Benetzungsfähigkeit u.a.); Substrate vorwiegend Glas, Silizium, III- V Halbleiter (Gallium-Al-Arsenid , Ga-Nitrid u.a.); Oberflächenstrukturierung typischerweise im Bereich 50nm bis mehrere µm.

Anschrift

Universität Erlangen-Nürnberg / Max-Planck-Forschungsgruppe, Institut für Optik, Information und Pho
Günther-Scharowsky-Str. 1 – Bau 24
81058 Erlangen


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